? 該項目以半導(dǎo)體芯片封裝測試潔凈區(qū)為核心,深度融合數(shù)字化建模、標(biāo)準(zhǔn)化施工與全流程潔凈管控理念,打造符合SEMI、ISO及GB50472三重標(biāo)準(zhǔn)的高精密生產(chǎn)空間。 半導(dǎo)體芯片制造對環(huán)境潔凈度、溫濕度穩(wěn)定性、防靜電干擾及微振動控制要求堪稱 “極致苛刻”哪怕 0.1μm 的懸浮粒子附著在芯片表面,都可能導(dǎo)致電路短路;靜電放電更可能直接擊穿芯片精密結(jié)構(gòu)。該電子廠此次擴建項目聚焦14nm芯片封裝測試環(huán)節(jié),需實現(xiàn)從晶圓傳輸?shù)匠善窓z測的全流程潔凈控制。項目團隊通過數(shù)字化模擬技術(shù),精準(zhǔn)優(yōu)化氣流組織(垂直單向流風(fēng)速穩(wěn)定在 0.45±0.05m/s)、靜電接地電阻(≤1Ω)及微振動控制(振幅≤2μm),確保潔凈區(qū)達(dá)到 ISO5級標(biāo)準(zhǔn)。 在項目執(zhí)行中全程落地標(biāo)準(zhǔn)化管理體系,從施工人員資質(zhì)認(rèn)證到工序驗收標(biāo)準(zhǔn),均建立可追溯的規(guī)范流程,確保每個施工環(huán)節(jié)處于 “可控、可查、可追溯” 狀態(tài)。 面對電子潔凈室 “管線密集、精度嚴(yán)苛” 的施工挑戰(zhàn),項目團隊以數(shù)字化技術(shù)為核心驅(qū)動力?;谇捌跇?gòu)建的全維度 BIM 模型,精準(zhǔn)模擬設(shè)備布局、工藝管道、FFU(高效過濾單元)安裝及防靜電地板敷設(shè)等關(guān)鍵環(huán)節(jié),利用三維可視化技術(shù)指導(dǎo)現(xiàn)場施工,使設(shè)備定位、管線對接精度控制在±2mm內(nèi)。 電子潔凈室涉及土建、暖通(潔凈空調(diào))、工藝管道(高純氣體 / 化學(xué)品)、電氣(防靜電接地)、自控(環(huán)境監(jiān)測)等 12 個專業(yè),各系統(tǒng)交叉密集。項目團隊搭建跨專業(yè)協(xié)同平臺,實現(xiàn)進度數(shù)據(jù)實時共享、工序節(jié)點聯(lián)動,通過 “專業(yè)接口預(yù)演 — 沖突提前化解 — 進度同步推進” 機制,最終實現(xiàn)零重大設(shè)計變更、零返工拆除的高效施工成果。 項目現(xiàn)場嚴(yán)格執(zhí)行“四級潔凈防護” 制度(人員、物料、工具、環(huán)境):所有進入潔凈區(qū)的人員需經(jīng)過風(fēng)淋室30秒凈化、穿戴防靜電潔凈服(鞋帽連體);物料通過專用傳遞窗經(jīng)UV消毒+ HEPA過濾后進入;施工工具采用無塵化處理每日施工結(jié)束后對地面、墻面進行激光粒子計數(shù)器抽檢,確保施工過程潔凈度不降級。 檢測階段執(zhí)行 “雙標(biāo)比對” 方案 —— 既符合ISO14644-1潔凈室分級標(biāo)準(zhǔn),又滿足客戶提出的 “動態(tài)生產(chǎn)狀態(tài)下持續(xù)達(dá)標(biāo)” 要求。通過粒子計數(shù)器、溫濕度巡檢儀、靜電測試儀等精密設(shè)備,對潔凈度、溫濕度、壓差、防靜電性能等28項指標(biāo)進行連續(xù)72小時監(jiān)測,最終所有指標(biāo)均優(yōu)于合同標(biāo)準(zhǔn),順利通過第三方權(quán)威機構(gòu)驗證。
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